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石英ガラスの用途は何ですか

2025,12,19
石英ガラスは、その高温耐性、高純度、化学的安定性、優れた光学特性により、次の分野で広く使用されています。
半導体産業
チップ製造の基幹材料として拡散炉チューブやウエハ洗浄装置などに使用され、市場シェアの45％を占めています。たとえば、エッチング、拡散、酸化、その他のプロセスに必要なキャリア デバイスやキャビティ消耗品などです。
光学分野
フォトリソグラフィー装置のマスク基板（透過率>95%）、宇宙望遠鏡のレンズ、レーザー兵器の部品などに使用されます。アメリカのアポロ月面着陸実験で使われたレーザー反射板のようなもの。
航空宇宙
宇宙船の風洞、観察窓、衛星用ソーラーパネル、戦闘機のアンテナカバーなどに使用され、極限環境にも耐えます。中国の神舟宇宙船の窓材は石英ガラスでできている。
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